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这话一出，魏天华直接呆愣在原地。
13.5纳米正是euv光刻机的核心参数，可严正行说不需要反射镜组？
要知道现在的euv光刻机为了规避镜片吸收问题，光是高精度反射镜就用了11片。
每一片的製造难度都堪比艺术品，全球能生產的厂家不超过三家。
陈进一的眼睛里写满难以置信。
他也曾接触过顶尖光刻机研发，太清楚这个技术方向的顛覆性。
如果真能实现，等於绕开了euv最卡脖子的供应链环节。
“这怎么可能？就算波长达標，能量密度、稳定性、持续工作时长……这些都是拦路虎啊！”
“我们试过用雷射倍频技术逼近这个区间，结果设备开机半小时就因为过热报废了。”
望著对方难以置信的样子，严正行依旧是老样子：
“我可以保证，这种全新光源的转化效率將超过30%！
“30%？！”
陈进一猛地站起身，结果膝盖一不小心撞到桌上，疼得他齜牙咧嘴，但还是咬著牙道：
“这不可能！
光源转化效率每提升1%都是天堑，您说的是理论值还是？”
要知道现在asml的euv光源转化效率还不到5%。
这意味著什么？
意味著他们要是知道这种光源技术的存在，一定会集体发疯，不计一切代价得到它！
“是工程样机就能达到的实际值。”
严正行语气平静，却像一颗炸雷在会客厅里炸开。
魏天华脸色发白，他终於明白这场合作的分量。
能让安全局和军队同时介入安保，恐怕真要搞出顛覆行业的东西。
“那……安保方面？”
魏天华声音发紧。
陈劲刚回应道：
“从协议签署生效开始，安全局会派驻三十名特勤人员接管厂区安防。
外围由军区调派一个连的兵力布防，无人机二十四小时巡逻。
任何未经授权的人员靠近都会触发一级警报。”
“魏总，你们团队里需要留下配合的人员，我们会马上安排背景审查。”
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